江蘇鵬舉半導體全自主研發的原子層刻蝕設備（ALE），具有成熟的真空解決方案及射頻系統，基于Windows平臺自主開發的操作系統，架構合理，人機交互界面多種自動流程設計，操作簡單便捷。設備具有占用空間小，耗材及運營成本低等優點。此腔體擴展性高，兼容性高，可用于多種材質，多種介質刻蝕，可媲美國際先進水平，實現國產替代。