產(chǎn)品特點(diǎn)
    采用射頻放電，無(wú)燈絲，壽命長(zhǎng)，減少維護(hù)，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作；單電荷離子，幾乎沒(méi)有對(duì)屏柵的濺射，消除柵網(wǎng)污染問(wèn)題，且離子能量及束流可寬范圍內(nèi)精確控制；更廣泛的工藝氣體，一些特殊的高性能光學(xué)薄膜(附著力、折射率、硬度、低吸收和低漂移等)只能用射頻寬束離子源進(jìn)行離子束輔助沉積工藝來(lái)完成；柵網(wǎng)采用異形鉬網(wǎng)，允許聚束或發(fā)散；尺寸小，適合緊湊空間，通常采用法蘭安裝，也可根據(jù)需求進(jìn)行定制。